可选择40KHz、13.56mhz和2.45ghz三种射频发生器，不同材质达因值数据表以适应不同的清洗效率和清洗效果需求。金莱等离子清洗/蚀刻机具有成本低、操作灵活的特点，主要适用于高科技生产单位以下场合:半导体开发、集成电路开发、真空电子工业、生命科学实验、金利等离子清洗/蚀刻机具有以下特点:可以
