工作时，达因值32a和32b清洗室中的等离子体轻轻冲刷被清洗物体的表面，能在短时间内有效清洗有机污垢。此外，污垢被机械泵除去，并在分子水平上清洗。为了验证等离子体蚀刻机的效果(效果)，可以通过具体的实验结果来评价。以下是测试等离子蚀刻机蚀刻效果的常用方法:测试等离子蚀刻机蚀刻效果的常用方法有液滴测角
