等离子表面处理设备在半导体器件上的亚绝缘处理及应用： 1.绝缘——等离子表面处理设备对硅胶表面进行改性，表面活化处理中PH值影响以提高材料相容性。当等离子表面处理装置工作时，绝缘数据需要具有较高的电阻，以减少栅电极与有机化学半导体之间由于接触面的积累和移动造成的栅漏电流。也就是说，需要更好的绝缘。这
