注意：使用CF4或类似的气体会引起涂料的反应室和它的组件与这些气体的副产品，表面改性方法金属工艺学当使用这些类型的气体处理等离子机时，清洗方案必须经常重复直至删除副产品，因为他们将很容易再沉积到干净的表面。9.3.4 检查真空装置的完整性有必要定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室
