等离子体清洗的原理与超声波不同，二氧化硅表面改性方案当舱内接近真空时，打开射频电源，此时气体分子电离，产生等离子体，伴随辉光放电现象，等离子体在电场作用下加速，从而在电场作用下高速运动，对物体表面造成物理碰撞。等离子体的能量足以去除各种污染物，氧离子可以将有机污染物氧化成二氧化碳和水蒸气排出舱外。玻
