整个过程依赖于等离子体在电磁场空间运动,轰击处理对象的表面,从而达到表面处理、清洗和蚀刻效果(清洗过程在某种程度上是一个轻微的腐蚀过程),清洗后,排气蒸发污垢和清洁气体,同时向真空室输送空气，表面改性技术的研究进展使空气恢复正常大气压。在低压等离子体技术中，真空中的气体通过提供能量而被激发。它产生高
