经常压等离子体清洗机蚀刻后，蚀刻玻璃与普通玻璃铜线表面有一些电荷残留物，在后续溶液清洗过程中会造成严重的铜损失。清洗液的改变可以适当地调节晶圆的静电残留量。与常压等离子清洗机不同的是，另一种清洗液（B液）（主体为有机电解液，不易与铜离子反应）与上述溶液的清洗效果进行对比。用B溶液清洗后，铜金属层中没
