可根据清洗剂的不同选择氧气、氢气、氮气、氩气等气体。 (3)由于电极和接地装置在真空室内施加高频电压，如何提高蒸发镀膜的附着力蒸汽被分解并通过辉光放电产生电离和等离子体。完全覆盖真空室内产生的等离子，并与正在加工的工件一起开始清洗。清洁过程通常持续几十秒到几分钟。清洗后，当气体吹入真空室时，高频电压
