石墨烯具有良好的二维传输特性和高导电性，芯片刻蚀机5nm既可作为通道材料，又可作为后端互连材料。当然，不同的用途对蚀刻工艺的要求也不同。石墨烯在芯片制造中的应用面临两个问题:一是如何在大范围内连续生长出高质量的薄膜;二是如何形成图形。第二个方面与蚀刻工艺密切相关。相比之下，有很多关于大面积增长的研究
