氩气和氯气为主通过加人聚合物蚀刻气体或改变偏压的做法来实现对图形形态的控制，覆盖膜达因值要求是多少分别获得不同侧壁形貌的图形。这其中CH3F和氯气对形态的控制非常有效。而偏压和流量的调节则对底部形态控制起至关重要的作用。通过这些方法，锗的形态控制和关键尺寸调节可以被完成。。等离子蚀刻机在等离子体腐蚀
