低气压等离子体发生器是一种低气压气体放电装置，光学镜片 膜层附着力检测一般由三部分组成：产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气（或反应气）供给系统。 通常有四类：静态放电装置、高压电晕放电装置、高频（射频）放电装置（有3种类型）和微波放电装置。把被处理的固体表面或需要聚
