2) 蒸发。即固体表面接受来自等离子体的能量而熔化、蒸发。3) 溅射。当离子或中性粒子入射到表面时，腻子怎么提高附着力它的一部分能量传给少数靶原子，其中有些在点阵达到热平衡之前发射出去，这就是溅射。溅射是阈值性的，即当入射粒子的能量大于某一阈值（通常为5～50eV）时,才出现溅射。4) 化学溅射。发
