C2H6 + E * & RARR; CH3 + CH3 + E (3-38) C2H6 + E * & RARR; C2H5 + H + E (3-39) 同样，聚四氟乙烯等离子体表面清洗机CO2分子与高能电子之间的非弹性碰撞促进CO增加键被裂解产生活性氧物质：CO2 + E * & RARR；C
