等离子表面处理机去胶法，除胶气体为氧气。该方法通过将电路板置于真空反应系统中，通入少量氧气，再加上高频高压，由高频信号发生器产生高频信号，在石英管中形成较强的电磁场，将氧离子化，形成氧离子、活化氧原子、氧分子和电子等混合物质的辉光柱。活性氧(活性原子态氧)能快速将残留的胶氧化为挥发性气体，并进行挥发
