这些离子电晕中的正负电荷总量相等，电晕电晕机厂家因此近似电中性，故称电晕。电晕脱胶机对晶圆加工的影响电晕可分为高温电晕和低温电晕两种。目前，低温电晕被广泛应用于许多生产领域。在电晕胶机（电晕）的使用中，我们都知道胶的气体是氧气。将待清洗的晶圆放入真空电晕脱胶机的反应系统中。在高频和微波能量的作用下，
