目前应用于微埋盲孔的孔清洗工艺主要是超声波清洗和等离子清洗，等离子电位盒有没有要求电线粗细而超声波清洗主要依靠空化效应来达到清洗目的。去污性能加剧了废液处理的问题。此阶段常用的工艺主要是等离子清洗工艺。等离子处理工艺简单，环保，清洗效果明显，对盲孔结构非常有效。在等离子清洗中，高活性等离子在电场的作
