等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁剂利用这些活性成分的特性来处理样品表面并实现其清洁目标。 2、低温等离子清洗机的表面活化功能当等离子体与表面接触时，等离子球化技术示意图被处理物表面发生化学变化和物理作用，表面分子链结构发生变化，产生羟基、羧
