等离子体的产生依赖于等离子体电源的高压激励，同时也离不开等离子体发生器载体。在不同的等离子体表面处理应用中，为了满足形态各异的被处理材料，等离子体发生器的结构也各有不同；发生器结构的差异也影响着等离子体气体放电。根据气体放电类型的不同，工业应用中常见的等离子体表面处理发生器有：电晕发生器、介质阻挡发
