真空等离子清洗机还容易引起表面侵蚀，等离子体的缺点限制只能应用与物体表面范围使表面粗糙，最终使基材的此表面积增加，表面形态发生变化。等离子体的频率会影响超大型效果。一般来说，高频超大型效果大于微波，更大于无线电波。各种聚合物薄膜在等离子体超大型时，官能团生成的速度非常快。2s内的照射就能生成高密度的
