形成气体分子是等离子体气化的过程，等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 张海洋 pdf形成玻璃体的过程是等离子体玻璃化的过程。废物经过等离子体化学反应完成转化的时间在0.01—0.5s之间。这个反应时间依赖于所处理的废物种类以及温度[13]。。热等离子体与工件相互作用的方式有几种。&emsp
