据统计，广东rtr型真空等离子体喷涂设备70%以上的混合集成电路产品故障是由于接合不良造成的。这是因为结区在制造过程中不可避免地会受到不同类型的污染物的污染，包括不同的有机和无机残留物。未经处理的直接键合会导致虚焊、焊锡脱落、键合强度降低等缺陷，导致接头应力差异较大，不能保证产品的长期可靠性。等离子
