就经济可行性而言，大气压等离子体射流装置及应用进展低温等离子体刻蚀机本身的系统组成单一、紧凑。在运行成本层面，微观上讲，由于放电过程只是提高了电子温度，离子温度基本保持不变，反响应系统可以保持低温。因此，低温等离子体设备不仅能量利用率高，而且维护成本低。低温等离子体工艺在处理蒸汽污染物方面具有明显的
