-真空等离子体设备在清理微小孔洞中的作用；随着HDI电路板内径的小型化，真空等离子清洗机现价传统的化学水处理技术已经不能满足通孔结构的清洗，液体界面张力使得药液难以渗透到孔内，尤其是在加工激光束钻出的微通孔板时，稳定性不够好。如今用于微埋通孔的孔洞清洗技术主要有超生波清洗和低温真空等离子体设备。超声
