该领域是结合等离子体物理、等离子体化学和固相化学反应的界面，电芯蚀刻设备它是一个需要跨越多个领域，包括化工、产品、电气等领域的高新技术产业，因此将会面临巨大的挑战和机遇，因为半导体和光电材料在未来将会得到快速的发展我们要清洗各种产品的表面，进行活化蚀刻的腐蚀、沉积、聚集等操作，需要使用低温等离子清洗
