多孔硅可以作为杂质吸收中心，电池极片刻蚀设备提高光载流子的寿命，并且具有较低的反射系数。然而，多孔硅具有结构松散不稳定、电阻高、表面复合率高等特点。低温等离子体对电池表面的高速粒子冲击，一方面可以使表面更加细致有序，同时也可以使表面结构更加稳定，减少复合中心的发生。由于磷的分散，光伏电池的表面和边缘
