下游形式-衬底可以放置在不带电的支架上，电晕机市场以获得精细的电晕作用。定制形式-当平面蚀刻配置不理想时，可以提供特殊的电极配置。。电晕刻蚀机的检查操作和加工方式都在这里电晕刻蚀机的原理是利用射频辐射，使氧气、氩气、氮气、四氟化碳等气体产生反应性极强的离子与器件反应形成挥发性化合物，再通过真空系统去
