化学办公室常用来去除这类杂质由各种试剂和化学药品配制的清洗液与金属离子反应形成金属离子络合物，电晕处理液配制从晶圆表面分离出来。氧化物半导体晶片暴露在氧气和水中会形成一个自然的氧化层。这种氧化膜不仅阻碍了半导体制作的许多步骤，而且含有一些金属杂质，在一定条件下会转移到晶圆上，构成电缺陷。这种氧化膜的
