首先谈论中频的放电等离子体清洗机,因为中频电源直接输出极板电压较高,其高自给偏压,负自给偏压引起积极的离子吸收功率,这将直接导致电极的温度板;与此同时,因为在这个过程中，电子电路等离子体清洁设备离子会吸收一部分功率，所以对电子进行电离的功率吸收也相应减少，导致等离子体密度降低而离子能量升高，工艺处理
