此外，电子束表面改性的反射率如果必须保持氧气的流动，真空度越高，氧气的相对比例就越高，产生的活性粒子浓度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的浓度会降低。 4、氧气流量调节：氧气流速高，活性颗粒密度高，脱胶速度加快。但是，如果流速太高，离子复合的概率会增加，电子运动的平均自由程如下。它已被缩短，而
