对于20nm以上的区域,珠海高附着力树脂哪家好清洗流程的数量超过所有工序流程的30%。从16/14nm连接点开始,由3D晶体管结构、前端和后端更复杂的集成、EUV光刻等因素驱动,工序流程的数量明显增加,对清洗工序和流程的需求也明显增加。 工序连接点缩小挤压良率,推动等离子体发生器需求提(升)。鉴于工