等离子蚀刻或清洁（从表面去除材料）、等离子活化（表面因等离子中存在的物质而发生物理或化学改性）、等离子涂层，环氧胶附着力增强剂当材料作为薄膜沉积在表面上时。 .根据产生等离子体的条件，等离子体可分为真空等离子体或大气等离子体。真空等离子处理通常用于微电子等应用，但在线处理需要《空气污染控制法》。去除
