可以提高整个工艺线的加工效率； 2.无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子的方向不强，激光材料表面改性深入细孔和凹入物体内部完成清洗操作，因此无需考虑被清洗物体的形状。 3.等离子清洗需要控制的真空度在Pa左右，这个清洗条件很容易达到。因此，该装置的设备成本不高，整体成本低于传统
