等离子清洗技术能使键合部分得到有效清洗，激光切割面附着力改善其表面的浸润性、化学性质，使键合质量得到有效保障，器件可靠性得以提高。等离子清洗的原理：等离子体是除气态、液态、固态之外的第四相态，它的正负电荷数始终保持一致，它由带电的正负离子、自由电子和激发态分子、中性粒子等不带电的物质组成。气体可以通
