等离子体的“活性”成分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等，涂层附着力怎么测等离子体清洗机利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗和涂层目的。等离子体按气体可分为以下两种：活性气体和非活性气体等离子体：根据产生等离子体所用气体的化学性质不同，可分为非活性气体等离
