自1960年代以来，活化的T细胞表面MHC离子清洗技术已应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化学品等领域。等离子聚合、等离子蚀刻、等离子灰化和等离子阳极氧化等所有干法工艺技术都已开发和应用。等离子清洗技术也是干法工艺进步的结果之一。与湿法清洗不同，等离子清洗机制是依靠物质在“等离子状态”下的“活
