真空度 10Pa。正常排气时间约为 2 毫秒。 2. 将等离子清洗气体注入真空室，注入式等离子设备原理保持压力为 100 PA。您可以根据不使用的清洁剂选择氧气、氢气或氮气。 3、当在真空室的电极和接地装置之间施加高频电压时，气体爆发并电离，辉光放电产生等离子体。真空室内产生的等离子体完全（完全）覆
