化学反应室中的气体电离是指离子、电子、自由基等活性物质的等离子体，油漆附着力的检验标准通过扩散吸收于表象介质中，并与表象介质中的原子反应，形成挥发性物质。而且，高能离子在一定压力下物理轰击和蚀刻介质的外观，去除再沉积的化学反应产物和聚合物。介质层的刻蚀是通过化学和物理相互作用完成的。刻蚀是晶圆制造的
