等离子处理器广泛应用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片分层、等离子涂层、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理。等离子清洗机用于去除晶圆表面的颗粒（微粒），河北真空等离子处理设备供货商彻底去除光刻胶等有机物，活化和粗糙化晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性。等离子清洗机包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥
