如氩与氧的结合，氩气等离子体表面清洗采用氩离子轰击是清洗表面污染，氧氧化反应和表面污垢，而当氩与氧分子碰撞时可以使电荷转移和结合，形成新的活性原理，并有很大程度的电离和离子能量降低，同时会产生更多的活性颗粒，此时，清洗效果已经达到1 + 1 & gt;但在填充各种气体时，要考虑的因素较多，如选择氢气
