从上述反应过程可以看出，氧等离子体去胶法电子首先从电场中获得能量，然后通过激发或电离将能量传递给污染物分子。获得能量的污染物分子被激发，同时一些分子因此成为活性自由基基团。然后这些反应基团与氧、反应基团和反应基团碰撞以产生稳定的产物和热量。此外，高能电子可能被卤素和氧等电子亲和力强的物质捕获，成为负
