例如，氧化膜层附着力如何加强氧等离子体氧化性高，可氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果；腐蚀气体的等离子体具有良好的各向异性，可以满足刻蚀的需要。等离子体处理会发出辉光，故称辉光放电处理。氩气和氦气性质安稳，膜层附着力如何提高并且放电电压低(氩原子的电离能E为15.57 eV)易构成亚稳态的原子，一
