等离子处理设备技术的主要特点是无论被处理的基板类型如何，数控等离子 最小间距都可以进行处理。金属、半导体、氧化物和大多数聚合物材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、环氧树脂，甚至铁氟龙，都可以清洁，具有完整、局部和凌乱的结构。等离子加工设备清洗数控技术简单，自动化程度高，操作设备精度高，无表面损
