在射频电场作用下，数码电晕机开一下就停会形成垂直于晶圆方向的自偏压，使离子得到比较大的轰击能量。在电容中在耦合电晕阶段开始时只有一个射频电源，射频电源的变化会同时影响电晕密度和离子轰击能量，单频容性耦合电晕的可控性不尽如人意。多频电容耦合电晕刻蚀机通过引入多频外接电源，使电容耦合电晕刻蚀机的性能有了
