如果内腔的真空度受到其他因素的影响，数控等离子出现横轴定位错误如果某个真空度与设定的真空度有误差，Program Flow会自动调整和设定真空泵，保持真空值。这种控制称为PID控制。 P 是比例效应，I 是积分效应，D 是微分效应。 PID不仅具有高速比例效应，还具有积分效应的误差清除作用和微分效应
