最重要的是，等离子体表面活化等离子体表面活化剂的激发技术只能改变晶体表面层，不能改变材料本身的性能，包括机械、电气和机械性能。等离子表面处理的特点是清洁简单。流程、快速、高效。氧气和氩气都是非会聚气体。等离子体与晶体表面二氧化硅层上的活性原子和高能电子相互作用后，破坏了原有的硅氧键结构，将其转化为非
