纳米材料制备：石墨烯、碳纳米管、富勒烯、金刚石薄膜等。材料改性：聚合物、纺织品。半导体产业：新型半导体材料，平板plasma清洁亚微米刻蚀。涂层：pvd,cvd涂层。可采用ECR模式。材料制备：泡沫金属材料。环境保护：废烟、废气、废水处理。医疗领域：医疗设备低温消毒。电子领域：液晶显示器等电子元器件
