等离子刻蚀是干法刻蚀的一般形式，干法表面改性工艺可以分为其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，产生的离子和高能电子组成的气体被释放出来，形成等离子体或离子。当被电场加速时，它会释放足够的力来粘附材料并蚀刻表面，并结合表面的驱动力。等离子清洗实际上只是等离子蚀刻过程中的一个小现象。干法蚀刻加工设备
