等离子体射频电源制备催化剂具有操作简单、工艺流程短、能耗低、催化剂更换过程直观易控、清洁无污染等优点。等离子体和催化剂结合的未来价值有很大的潜力进一步研究以优化它。。等离子体工业清洗机IC封装过程中等离子体清洗工艺的优化；IC封装形式千差万别，工业清洗仪也在不断发展变化，但其生产工艺大致可分为晶圆切
