-plasma等离子设备属于干式清洁，山东射频等离子清洗机原理图实际的工作机制是除去圆晶（Wafer）表层肉眼看不见的表层污染物质；圆晶 -plasma等离子设备整个过程就是先将圆晶放入plasma清洗机的真空反应腔体內，接着抽出真空，达到一定的真空值后充入反应混合气体，这类反应混合气体被电离转化成
