大气等离子发生器主要分为化学清洗、物理清洗和混合清洗。化学清洗常用的气体有H2、O2、CF4等。这些气体在等离子体中被电离，为什么含氧官能团亲水性好形成高度活性的官能团，与碎片发生反应。其作用的基本机理主要是通过等离子体中的官能团与物质外表面发生化学反应，使不挥发的有机物转化为挥发型。化学清洗具有清
